超精密数控机床静压导轨直线度调整方法

    所述静压导轨包括：动导轨和定导轨，动导轨和定导轨之间用静压油膜隔开，动导轨在定导轨上移动时，以动导轨移动时的低点为基准，测量导轨移动时各点在高度方向上的直线度误差；在定导轨上安装副导轨，副导轨移动时与动导轨相同，并与动导轨同步移动，副导轨上装电磁线圈，并在动导轨的相应位置安装电磁铁芯；根据测得的动导轨上各点相对于基准点的高度误差值，测量各点下压至基准点时所需的力，计算电磁铁芯产生该吸力所需的电流电压值；在副导轨上安装电磁线圈，以电磁力使动导轨上各点的电流始终保持在所需的水平。将带电磁线圈的副导轨安装在定导轨上，在相应的动导轨上安装电磁铁芯，通上电流电压后电磁铁芯产生吸力，使动导轨上的每一点受力，并始终保持与定导轨基准点平直的直线上运动，从而控制动导轨与定导轨之间的直线度误差。线度调整精度高，科学合理。

    所述静压导轨包括动导轨1、定导轨2、动导轨1和定导轨2之间用静压油膜3隔开，具体步骤是：当动导轨1在定导轨2上移动时，以动导轨1移动时的低点为基准点，测量导轨1移动时各点在高度方向上的直线度误差；测量动导轨1上各点相对于基准点的高度误差值，测量动导轨4和定导轨4的移动方向与动导轨1一致，并与动导轨1同步移动，副导轨4上装电磁线圈5，在动导轨1的相应位置安装电磁线圈5，通过测量动导轨1上各点相对于基准点的高度误差值，确定动导轨1上各点向基准点移动时的力值。同时还可以在水平方向上布置一组副导轨和相应的电磁线圈、电磁铁心，以控制水平方向的直线度误差。